鈦鋁合金靶材主要用于五金裝飾的耐磨、耐腐蝕硬膜，LOW-E鍍膜玻璃，半導(dǎo)體電子加工尺寸:長度:4000MM厚度:6-10MM，直型、狗骨型，對于貨品靶材，若剩余下的高純殘靶若以普通廢料進(jìn)行處理，將會是對稀貴材料的較大浪費；同時，靶材從原材料到加工成成品，成材率一般只有40%-80%，大量的余料和殘屑需要更新循環(huán)利用。對于貨品靶材，由于材料價格昂貴，迫切需要對加工過程的余料殘屑的提純再利用及對殘進(jìn)行回收加工增值服務(wù)，有效增加材料利用效率和節(jié)約資源。對于貨品余料殘屑及殘的處理可為機(jī)械物理法回收和化學(xué)精煉提純回收。機(jī)械物理法可應(yīng)用于單質(zhì)金屬殘靶及加工廢料。通過機(jī)械切削對單質(zhì)殘表面進(jìn)行處理，然后采用酸洗去除表面殘留雜質(zhì)的方法對殘祀回收再利用。 靶材按材料種類型分，可分為金屬靶材、合金靶材、化合物靶材。不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。氧化物薄膜材料在液晶面板、觸摸屏、薄膜太陽能電池、發(fā)光二極管等產(chǎn)業(yè)上獲得了廣泛應(yīng)用。目前國內(nèi)氧化物薄膜材料的制備方法和技術(shù)有很多，其中主要的方法有脈沖激光沉積、磁控濺射、電子束蒸發(fā)、分子束外延等物理方法。 由于磁控濺射鐵磁性靶材的難點是靶材表面的磁場達(dá)不到正常磁控濺射時要求的磁場強(qiáng)度，因此解決的思路是增加鐵磁性靶材表面剩磁的強(qiáng)度，將鐵磁性靶材的厚度減薄是解決磁控濺射鐵磁材料靶材的常見方法。如果鐵磁性靶材足夠薄，則其不能完全屏蔽磁場，一部分磁通將靶材飽和。其余的磁通將從靶材表面通過。