20 世紀(jì)90 年代以來靶材已蓬勃發(fā)展成為一個(gè)專業(yè)化產(chǎn)業(yè)，中國及亞太地區(qū)靶材的需求占有世界70%以上的市場份額。大量不同的沉積技術(shù)用來沉積生長各種薄膜 ，而靶材是制作薄膜的關(guān)鍵，品質(zhì)的好壞對(duì)薄膜的意義重大。目前高端品質(zhì)靶材主要由:日本、德國和美國生產(chǎn)，我國靶材產(chǎn)業(yè)起步較晚，在產(chǎn)品質(zhì)量與精細(xì)標(biāo)準(zhǔn)上與國外有不少的差距，國內(nèi)也有許多大學(xué)及研究機(jī)構(gòu)對(duì)靶材積極投入了大量鉆研與開發(fā)，經(jīng)過這幾年的發(fā)展也涌現(xiàn)了一批在靶材行業(yè)優(yōu)秀的公司和院校。在國內(nèi)占據(jù)了大部分中等和要求不高的靶材市場份額。       隨著石墨加工技術(shù)的提高，石墨靶材興起，石墨靶材也會(huì)被應(yīng)用在更加廣闊的領(lǐng)域中,在市場中，優(yōu)質(zhì)石墨靶材主要來源日本、德國、美國，不僅是在靶材行業(yè)，在石墨行業(yè)我們這些國家的差距還是很大的。在靶材行業(yè)中，我們常見到的有金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材、這些在靶材在微電子、顯示器、儲(chǔ)存等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。石墨靶材自身具有耐高溫、自潤滑、耐腐蝕、導(dǎo)電性良好等特點(diǎn)，用石墨做靶材，根據(jù)行業(yè)的不同選用不同材質(zhì)的石墨材料，在選材上市重要的環(huán)節(jié)，然后就要考慮石墨靶材加工中的技術(shù)問題，靶材材質(zhì)的要求很嚴(yán)格，對(duì)加工技術(shù)的要求同樣是一絲不茍的。石墨靶材的精度和誤差都是重要的因素。UVTM為客戶提供各種稀有金屬靶材，多種材料合金靶材，陶瓷靶材，粉末和顆粒靶材，主要有鉻、鈦、不銹鋼、硅、鉬、錫、石墨、ITO、鎳鉻、鈦鋁、鉻銅邦定等靶材。 靶材應(yīng)用行業(yè)分類 1.1 裝飾、工模具鍍膜行業(yè)靶材鉻靶（Cr），平面鉻靶，噴涂鉻管； 鉻硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(電弧，平面靶，旋轉(zhuǎn)管靶）； 鈦鋁靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（電弧，平面靶，旋轉(zhuǎn)管靶）； 鈦鋁硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(電弧，平面靶，旋轉(zhuǎn)管靶）； 石墨靶3N,4N,5N,6N高純定制； 鈦靶，鈦管靶，鋯靶； 金靶，玫瑰金靶； 石墨靶，鎳靶，鋁靶，不銹鋼靶等。 常用靶形 常用靶形有電弧靶、平面靶、旋轉(zhuǎn)管靶。