三、靶材安裝

靶材安裝過程中較重要的注意事項(xiàng)是一定要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導(dǎo)熱連接。如果用冷卻壁的翹曲程度嚴(yán)重或背板翹曲嚴(yán)重會造成靶材安裝時發(fā)生開裂或彎曲，背靶到靶材的導(dǎo)熱性能就會受到很大的影響，導(dǎo)致在濺射過程中熱量無法散發(fā)較終會造成靶材開裂或脫靶 
為確保足夠的導(dǎo)熱性，可以在陰較冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請注意一定要仔細(xì)檢查和明確所使用濺射槍冷卻壁的平整度，同時確保O型密封圈始終在位置上