【中玻網(wǎng)】石英玻璃在半導(dǎo)體中的應(yīng)用

　　石英玻璃憑借其高純度、耐高溫、低熱膨脹性、化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)等優(yōu)良性能，在半導(dǎo)體芯片制造加工中被廣泛應(yīng)用。半導(dǎo)體石英產(chǎn)品種類繁多，主要用于硅片制造環(huán)節(jié)的拉制單晶的石英坩堝、多個(gè)晶圓制造的核心環(huán)節(jié)的硅片承載器具（擴(kuò)散、氧化環(huán)節(jié)的擴(kuò)散管、舟、支架等；刻蝕環(huán)節(jié)的石英環(huán)等；清洗環(huán)節(jié)的石英玻璃花籃、清洗槽等）以及光刻環(huán)節(jié)使用的光掩膜版的基板材料。

　　半導(dǎo)體用石英玻璃的市場(chǎng)規(guī)模

　　半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域之一，需求空間百億量級(jí)：

　　半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域，需求空間百億量級(jí)。根據(jù)石英玻璃協(xié)會(huì)報(bào)告，2014年大部分國(guó)家石英玻璃市場(chǎng)規(guī)模超過(guò)200億元金額，其中半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用，市場(chǎng)占比超過(guò)60%，其中半導(dǎo)體石英坩堝、前端工序石英器件、光掩膜基板市場(chǎng)空間分別約40億、60億、45億元金額。根據(jù)其他口徑測(cè)算，2017年大部分國(guó)家半導(dǎo)體級(jí)石英材料市場(chǎng)規(guī)模在20億美元以上，半導(dǎo)體石英器件規(guī)模約13億美元（分為高溫區(qū)器件、低溫區(qū)器件，規(guī)模大致相當(dāng)），光掩膜版基板材料市場(chǎng)規(guī)模約10億美元（包含部分蘇打玻璃，石英玻璃占比處于提升趨勢(shì)）。

　　半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域之一，需求空間接近100億量級(jí)。

　　根據(jù)石英行業(yè)協(xié)會(huì)報(bào)告，2013年整個(gè)半導(dǎo)體石英器件規(guī)模約10億美元，而根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2017年半導(dǎo)體晶圓設(shè)備銷售額、硅片出貨量均相比2013年增長(zhǎng)了30%，簡(jiǎn)單按同比例測(cè)算，當(dāng)前半導(dǎo)體石英器件的市場(chǎng)規(guī)模約為13億美元，已接近百億金額量級(jí)。

　　目前，大部分國(guó)家高等石英玻璃市場(chǎng)（尤其是以半導(dǎo)體、光通訊為主的電子級(jí)石英玻璃市場(chǎng)），主要還是由賀利氏、邁圖、東曹、昆希等海外龍頭企業(yè)掌握，石英材料的國(guó)產(chǎn)化比例較低。

　　關(guān)鍵點(diǎn)在于，半導(dǎo)體石英材料的認(rèn)證壁壘較高，具有資質(zhì)認(rèn)證優(yōu)勢(shì)的外資廠商往往占據(jù)著高等市場(chǎng)的絕大份額。

　　產(chǎn)業(yè)鏈的梳理

　　從材料到器件加工，客戶從半導(dǎo)體設(shè)備商到芯片制造商。半導(dǎo)體石英玻璃領(lǐng)域的企業(yè)主要分為上游的石英玻璃材料廠商（菲利華、石英股份等）和下游的石英器件加工商（杭州大和、凱德石英等）；石英器件加工廠商將采購(gòu)的石英玻璃材料通過(guò)機(jī)加工或者熱加工制成各類半導(dǎo)體石英器件銷售給半導(dǎo)體設(shè)備廠商，再由設(shè)備廠商將包含石英器件的整套設(shè)備銷售給芯片制造商；器件加工商也會(huì)將產(chǎn)品直接銷售給芯片制造商（器件損耗需要在一定周期內(nèi)更換）。

　　①菲利華，2011年上半年通過(guò)東京電子的材料認(rèn)證，成為國(guó)內(nèi)一家通過(guò)原廠設(shè)備認(rèn)證的石英玻璃材料企業(yè)，大部分國(guó)家目前共有5家企業(yè)通過(guò)該認(rèn)證；公司是國(guó)內(nèi)石英玻璃行業(yè)龍頭，在半導(dǎo)體、光通信、航天航空等領(lǐng)域技術(shù)優(yōu)勢(shì)明顯：1）在半導(dǎo)體領(lǐng)域，公司是國(guó)內(nèi)獲得主要半導(dǎo)體設(shè)備商（東京電子、應(yīng)材、Lam）認(rèn)證的石英材料供應(yīng)商；2）在航天航空領(lǐng)域，公司是大部分國(guó)家少數(shù)具有石英纖維量產(chǎn)能力的制造商之一，具有軍方供貨資質(zhì)；3）在光通信領(lǐng)域，公司可提供絕大部分石英玻璃輔材器件。

　?、谑⒐煞荩鄠€(gè)半導(dǎo)體級(jí)產(chǎn)品正在進(jìn)行東京電子認(rèn)證，國(guó)內(nèi)優(yōu)異的半導(dǎo)體器件加工商凱德石英目前也正在推進(jìn)東電認(rèn)證，目前進(jìn)展順利。

　　半導(dǎo)體設(shè)備、芯片環(huán)節(jié)均增長(zhǎng)明顯，拉動(dòng)半導(dǎo)體石英需求高景氣：隨著大部分國(guó)家半導(dǎo)體市場(chǎng)進(jìn)入增長(zhǎng)周期，并迎來(lái)新一輪投入資金高峰，設(shè)備、芯片環(huán)節(jié)的高增長(zhǎng)拉動(dòng)半導(dǎo)體石英需求迎來(lái)高景氣。預(yù)計(jì)到2020年，半導(dǎo)體石英材料仍有望維持20%以上的年復(fù)合增長(zhǎng)率。

　　此外，國(guó)內(nèi)石英玻璃公司2017年的電子級(jí)產(chǎn)品的收入也確實(shí)迎來(lái)了高速增長(zhǎng)，并在積較擴(kuò)產(chǎn)，2018年銷售額仍將處于快速增長(zhǎng)通道，這也為石英砂生產(chǎn)廠家?guī)?lái)大機(jī)會(huì)。