PA-300-XL SIC       在PA系類設(shè)備的基礎(chǔ)上，加裝晶圓專項使用的裝置，可以效率高的測量SIC和藍寶石這類光學性能特殊的產(chǎn)品的雙折射和殘余應(yīng)力的信息。 主要特點：操作簡單，測量速度可以快到3秒。視野范圍內(nèi)可一次測量，測量范圍廣。更直觀的一體讀取數(shù)據(jù)，無遺漏數(shù)據(jù)點。具有多種分析功能和測量結(jié)果的比較。維護簡單，不含旋轉(zhuǎn)光學濾片的機構(gòu)。高達2056x2464像素的偏振相機。應(yīng)用領(lǐng)域:    SIC   藍寶石技術(shù)參數(shù)：       項次           項目            具體參數(shù)1 輸出項目 相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應(yīng)力換算（選配）【MPa】 2測量波長520nm 3雙折射測量范圍0-130nm 4測量小分辨率0.001nm 5測量重復(fù)精度<1nm（西格瑪） 6視野尺寸40x48mm到240x320mm（標準） 7選配鏡頭視野不適用 8選配功能    實時解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實現(xiàn)外部控制