空氣首先經(jīng)過過濾器進行除塵預(yù)處理，再由羅茨鼓風機增壓至49Kpa(G)直接進入由2臺吸附塔組成的VPSA制富氧裝置（保持其中1臺始終處于吸附狀態(tài)），在多種吸附劑組成的復(fù)合吸附床的依次選擇吸附下，除去空氣的水、二氧化碳和絕大部分氮氣，直接獲得純度92%的產(chǎn)品富氧，經(jīng)KV102a/b、KV104程控閥進入氧氣緩沖罐V102，再經(jīng)氧氣增壓機C102增壓后送至用戶使用。   純度低于產(chǎn)品要求的富氧氣體則通過均壓閥KV102a/b，由于吸附塔T101A/T101B內(nèi)的壓力差作用，富氧氣體由正壓的吸附塔進入負壓的吸附塔進行再次吸附處理，從而實現(xiàn)氧氣的有效回收。　 吸附飽和后的吸附劑則通過濕式羅茨真空泵抽真空的作用得以更新，更新出的富氮氣體直接排入大氣。