清洗掉石英管表面殘留的污物，清洗過程中石英管無任何磕傷、劃傷等缺陷。清洗工藝：上料－HF酸浸泡腐蝕清洗－純水噴淋浸泡漂洗－氮氣吹干－下料1 清洗槽數(shù)量：22 較大石英管規(guī)格：φ330X3000 mm3 清洗槽尺寸（長*寬*高）：3200X500X5204 槽體材質： PP5 柜體材質： PP6 PVDF磁力泵：流量 50L/min, PVDF材質7 旋轉速度：5-15 r/min8 氮氣壓力 0.3Mpa9 氮氣流量 >10L/min10 氮氣接口：φ8快插接頭11 去離子水壓力 0.3Mpa12 去離子水流量 >20L/min13 去離子水接口：1” PP管14 壓縮空氣壓力 0.5-0.7Mpa15 外型尺寸（長*寬*高）mm：4100*1410*1950